Der Vorteil dieser Methode liegt in der raschen
Durchführbarkeit, wobei die Prüfkörper nicht zerstört werden.
Als die nach Stand der Technik genaueste universell
anwendbare zerstörungsfreie Methode gilt die Röntgenfluoreszenzanalyse (kurz
XRF oder RFA). Mit ihr lassen sich nach Kalibrierung mit geeigneten Standards
sämtliche Feingehalte jediglicher Zusammensetzung mit hinreichender
Genauigkeit überprüfen. Die Genauigkeit ist abhängig von
der Methode, der Messzeit und der Anzahl der Messungen. Bei einer Messsicherheit
von 99,7 % (3-sigma-Bereich) kann eine Genauigkeit von < 5/1000 für
die Einzelmessung erreicht werden. Gut abgesicherte Ergebnisse bedürfen
einer statistischen Auswertung und können zeitaufwendig werden.
Der Vorteil dieser Methode ist die Zerstörungsfreiheit,
die Prüfmöglichkeit an für die Strichprobe unzugänglichen
Stellen, Aussagen über Legierungszusätze (qualitativ und quantitativ)
und die universelle Anwendbarkeit.